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      国产精品久久7777777蜜桃在半導體行業的應用

      發布日期:2023-08-21 作者: 點擊:

        半導體製造要求始終控製液體在工藝工具中的流動,其中一個嚴格的應用是化學機械平整化。(CMP)。當CMP工具無法將一致的漿料速度分配到拋光基材上時,會對產量、化學品的使用和材料的完整性產生很大的負麵影響。晶圓厚度的變化,缺陷密度的增加,工具停機時間和晶圓廢料的增加,隻是過程控製不良可能導致的一些問題。


        国产精品久久7777777蜜桃非常適合半導體行業的高純度和腐蝕性化學環境。對於CMP來說,在拋光過程中,為CMP提供了良好的線性和可重複性。低剪切力適用於CMP漿料,其變速操作允許在較寬的操作範圍內控製流量或壓力,以保持過程的完整性。


        漿料的性能可以實現優異的晶圓平麵度,泵可以通過控製漿料的輸送和分配來幫助實現這一目標。泵的非侵入式設計提供了一條沒有死流區域的直流路徑,使漿料凝結、硬化和汙染。流速到達±0.5%。提供穩定的流體輸送不僅可以保證漿料不斷流向拋光墊,還可以減少漿料、化學物質和去離子水的浪費。


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